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多功能 3D光學(xué)/三維表面輪廓儀（ OPTELICS HYBRID+，三維光學(xué)共聚焦顯微鏡/激光共聚焦顯微鏡/白光共聚焦顯微鏡 ），高度方向測量精度達(dá)0.05nm；系統(tǒng)整合了白光共聚焦+激光共聚焦技術(shù)；以雙共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ)，集6項(xiàng)測試功能于一體，包括白光共聚焦、激光共聚焦、微分干涉顯微鏡、垂直白光干涉顯微鏡、相差干涉顯微鏡、反射分光膜厚測量等功能。