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多功能 3D/三維光學(xué)共聚焦顯微鏡（ OPTELICS HYBRID+，三維表面輪廓儀/三維表面形貌儀 ），高度方向測量精度達0.05nm；系統(tǒng)整合了白光共聚焦+激光共聚焦技術(shù)；以雙共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ)，集6項測試功能于一體，包括白光共聚焦、激光共聚焦、微分干涉測量、垂直白光干涉測量、相差干涉測量、反射分光膜厚測量等功能。